德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實驗位移臺 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD

德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD

X、Y向上的螺距/偏轉(zhuǎn)角：0.5微弧度

Z向運動時的傾斜：0.2微弧度

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描探針顯微鏡

原子力顯微鏡

掃描和篩選

產(chǎn)品參數(shù)：

型號：P-363.3CD

主動軸：X、Y、Z

集成傳感器：電容式

-250至+250伏時X、Y向上的開環(huán)行程：±3微米

-250至+250伏時Z向上的開環(huán)行程：±2.7微米

X、Y向上的閉環(huán)行程：±2.5微米

Z向上的閉環(huán)行程：±2.5微米

分辨率，開環(huán)：0.03納米

分辨率，閉環(huán)：0.1納米

線性誤差：0.05%

重復(fù)精度：1納米

X、Y向上的螺距/偏轉(zhuǎn)角：0.5微弧度

Z向運動時的傾斜：0.2微弧度

X、Y向上的直線度：3納米

X、Y向上的平面度：<10納米

X、Y向上的串?dāng)_（Z向運動）：5納米

X、Y向上的空載諧振頻率：3.1千赫茲

Z向上的空載諧振頻率：9.8千赫茲

帶負載時X、Y向上的諧振頻率：1.5(20克)千赫茲

負載容量：10牛

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實驗位移臺 壓電掃描儀 納米壓電掃描儀 P-363.3CD